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  • FM-PR-PDS掩膜版|保護膜表面顆粒物快速檢測系統
    FM-PR-PDS掩膜版|保護膜表面顆粒物快速檢測系統

    掩膜版|保護膜表面顆粒物快速檢測系統(PDS)為掩膜版、掩膜版保護膜以及基板(襯底)制造工藝,提供高通量的表面顆粒污染檢測服務。 該系統對粒徑大于 0.1µm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高效且提供服務的選擇。它能以手動或自動的操作方式,以及較低的維護成本,取代傳統的顆粒檢測系統。

    更新時間:2025-06-23型號:FM-PR-PDS瀏覽量:393
  • FM-W-PDS晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)
    FM-W-PDS晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS)

    Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(PDS),專為各行業產品表面顆粒污染物直接測量而設計,主要應用于半導體領域的晶圓、薄膜及光罩檢測,也可用于顯示市場等基板檢測。該系統配備 4-12 英寸視場(FOV)掃描區域,支持上下表面檢測。其光學設計使產品在計量過程中無需移動即可完成檢測。該系統可根據不同生產工藝需求進行定制,或直接集成至產線。

    更新時間:2025-06-23型號:FM-W-PDS瀏覽量:335
  • FM-PS-SAS-V01儀器表面顆粒物分析儀
    FM-PS-SAS-V01儀器表面顆粒物分析儀

    Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀,是一款基于“膠帶粘取”采樣技術的表面污染檢測工具,可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面(包括難以觸及區域和高粗糙度表面)實現靈活采樣,且不會殘留可檢測的痕跡。該設備可在數秒內完成 225 mm2 采樣區域的分析,確??焖佾@得精準檢測結果。搭配 2 英寸晶圓支架,也可對沉降顆粒進行檢測,滿足跨行業復雜

    更新時間:2025-06-23型號:FM-PS-SAS-V01瀏覽量:317
  • FM-PS-PFS-V02環境落塵顆粒實時監控儀
    FM-PS-PFS-V02環境落塵顆粒實時監控儀

    Fastmicro 環境落塵顆粒實時監控儀,專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發,支持秒級間隔的數據采集,精準測量 0.5 um 以上顆粒。結合直觀易用的軟件系統,幫助客戶實現從單純空氣監測向表面潔凈度監測的跨越式升級,為工藝流程優化和潔凈度持續改進提供科學依據。

    更新時間:2025-06-23型號:FM-PS-PFS-V02瀏覽量:293
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